华卓精科

北京华卓精科科技股份有限公司成立于2012年5月9日，主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件，主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等产线，并在电子制造、激光加工等技术领域实现广泛应用。

公司注册资金9600万, 成立时间为2012年5月9日，正式营业时间为2012年8月15日。公司现有团队200人左右。2015年8月10日，有限公司整体变更为股份有限公司。华卓精科面向国内外的IC制造、光学、超精密制造等行业，致力于为行业提供整机装备、核心子系统、关键零部件和定制服务，主营产品包含整机、超精密运动系统、精密仪器设备和特种制造等方面。

华卓精科以国内高校的原发技术为基础，经过多年技术攻关和客户实用，形成了坚实规范的技术研发体系，现在已经成功推出了光刻机双工件台、精密隔振、超精密运动系统、关键零部件等系列化产品。