虞华真空设备

常熟市虞华真空设备科技有限公司创建于1992年，占地面积约13000平方米，坐落在江苏省常熟经济技术开发区虞山高新技术产业园，是专门从事研制高真空及超高真空专用设备的研发型科技公司，拥有雄厚的技术力量和较高的生产能力，为用户提供了一批科研生产真空设备，获得了较高的荣誉和用户的信赖。目前累计完成国家载人航天工程产值近1亿元。由于技术素质的提高，公司与中国航天科工集团二院和九院、中国航天科技集团五院、六院、八院等所属院所、中国电子科技集团所属院所、中国科学院所属院所、中国空气动力研究与发展中心、国防科技大学、上海交通大学、哈尔滨工业大学、北京航空航天大学、中国科技大学、华中科技大学等国内科研院校建立了良好的科研设备研制、生产合作关系。

热真空模拟设备系列：94年完成了卫星防污染的测试装置和返回式卫星失重测定设备；95年完成了长征三号火箭风筒模拟试验装置和风云二号卫星标准黑体测定设备；96年在国内竞标中一举中标，取得了用于国家载人航天工程的RZ-1无油超高真空高低温试验设备的研制任务。该项任务的技术水平为当时国际先进水平。本项目集机械、电子、热工、光学、磁学、真空、航天技术于一体的综合型设备，于97年8月13日一次安装调试成功，并通过了中科院组织的专家组验收；完成了用于航天光学仪器的测试、定标用的CS-1900型辐射定标试验室热真空系统；用于真空羽流效应实验系统中的“CS-5200真空容器技术研究和制造”；用于空间等离子体发动机试验的“CS-2000型等离子真空系统”；用于空间光学试验的“CS-5300型真空低辐射环境模拟装置”。热真空模拟设备已形成了系列产品（直径涵盖600~6000mm；极限真空达到10-8Pa；温度范围从+180℃到-220℃），产品在国内处于比较前列地位。

真空镀膜系列：国内较早一台CS-2600超高真空扫描式离子束抛光机，主要用于大型光学镜面修饰；并通过了中科院组织的专家组验收。完成了CS-300射频磁控复合溅射仪、等离子体刻蚀及敷膜装置、CS-350超高温阴极电弧镀膜设备。产品于2007年被列为江苏省高新技术产品，于2008年被列为国家火炬计划并出口俄罗斯。

超高真空测试与真空炉系列：用于卫星地面数据处理系统的研制及KM2中央控制及试验管理系统、KM5中央控制及试验管理系统的制造开发；20米真空平行光管、CS-2000大型无油真空加热炉、CS-3500高真空高温烧结炉（日本）、120MPa水下分离装置（通过航天304所检测验收）、用于北京正负离子对撞机重大改造工程核心部件真空室及内部机构、国家质检总局中国计量科学研究院的超高真空静态膨胀法真空校准系统、真空与漏率校准系统（20多台套）的研制等一批具有国际或国内前列水平的研制任务。

仪器专用真空包装箱系列：主要用于红外相机、卫星部件等仪器产品的保存和流转运输，以保障航天产品储运和流转免受大气环境及力学冲击（三维减震）的影响。