慧利仪器

苏州慧利仪器有限责任公司位于苏州，是一家致力于光机电软集成和系统设计一体化的光学精密测量仪器公司。公司创建于2009年3月，将国际领先的光学检测技术产业化和引导光学检测产业的发展潮流是慧利仪器的奋斗目标。

慧利仪器团队在光学检测领域具有三十多年的研发和工程化经验，完成过的国内外项目和产品包括：24英寸口径相移干涉仪的研制和应用、检测地球引力波项目（LIGO）中关键元件的超高精度干涉仪的研制和应用、检测芯片的技术和工程化、检测晶圆平面度和厚度变化的半导体专用设备的研制和应用、国家重大仪器设备专项及产业化等二十余项国内外科研及工程项目，研发总经费数亿元，形成了以光机电软一体化为核心的研发体系。

慧利仪器团队拥有在北美、欧洲、亚太区域几十年的工作经验，曾访问、交流、咨询、培训过的科研单位和企业有上百家，遍及美国、德国、法国、西班牙、澳大利亚、中国、日本、韩国、马来西亚和新加坡。它们包括国家实验室、国家研究所、国家计量院、高校、精密机械加工、MEMS、生物医学、半导体企业、数据存储、和光学加工。各种学术活动、研讨会、报告和技术讲座共计上百次。集聚了大量的学术前沿和市场信息，为前沿项目和产品的选题以及它们在未来工业中的应用奠定了坚实的基础。

慧利仪器采用模块化设计理念，结合了几十年的研发经验，研制出具有自主知识产权的数字化高精度激光干涉仪模块，在此基础上形成了三种类型干涉仪，包括：无应力平面检测干涉仪、现场高效球面检测干涉仪、通用组合水平式干涉仪。能够覆盖多口径，具备模块化、高精度、效率高、100%无损、抗干扰性能强等特点。公司自成立以来，技术不断进步，产品持续更新，至今已有十余次产品迭代，仪器性能达到国际先进水平。

数字化高精度激光干涉仪主要用检测高精度加工表面的形貌误差，解决了现有同类仪器的适用性和实用性难题，并成功地将其应用于计量检测、工业加工现场和科研以及高等院校教学仪器等领域。同时开拓半导体工业中的晶片检测、大平板显示中的平面检测、数据存储、MEMS/NEMS工业中光滑元件表面检测、纳米薄材料检测、LED芯片制备等行业市场。

慧利仪器在发展的过程中，不断与美国亚利桑那大学光科院、德国斯图加特大学光学所、上海理工大学光电学院等国内外多个科研院校展开交流合作。在项目发展、科研提升、人才培养等方面取得有效发展，使得设计生产、维修调试和工程改造能力迅速提高，规模不断扩大。

如今，慧利仪器公司员工奉行“进取 求实 严谨 团结”的信念，不断开拓创新，以技术为核心，视质量为生命、奉客户为上帝，竭诚为客户提供性价比高的数字化高精度激光干涉仪及其系统应用解决方案。